プラズマ材料科学第153委員会
第161回研究会

「プラズマ千夜一夜物語：プラズマ材料科学分野の歴史と将来展望」
日時：	2023年1月27日(金)
場所：	TKPガーデンシティPREMIUM京橋
詳細：	こちら

プラズマ材料科学第153委員会
第159回研究会

「半導体製造のプラズマプロセスにおける低ダメージ化技術と評価手法」
日時：	2022年10月18日(火)
場所：	プラザエフ
詳細：	こちら