研究会一覧
MEETINGS
第6回研究会
平成元年7月28日(金) 札幌グランドホテル
| プログラム |
| マイクロ波放電プラズマの化学反応への利点 |
| 青山学院大学理工学部 松本修 |
| シランプラズマからのアモルファスシリコン薄膜の成長－プロセス診断と成長モデル－ |
| 電子技術総合研究所 牧田彰久 |
| シランガス中RFグロー放電のモンテカルロモデリング |
| 北海道工業大学工学部 北守一隆 北海道大学工学部 伊達亜由美、田頭博昭 |
| 低周波プラズマCVDによる薄膜堆積 |
| 北海道大学医療技術短期大学部 下妻光夫 北海道大学工学部 田頭博昭 |