研究会一覧
MEETINGS
第7回研究会 プラズマと表面
平成元年10月19日 (木) 広島グランドホテル
| プログラム |
| プラズマCVDにおける低温結晶成長 －その表面化学反応制御－ |
| 東京工業大学総理工 清水勇、白井肇 東京工業大学像情報 半那純一 |
| ECR－MBE法によるGaAs結晶成長 －低温成長・選択成長・ヘテロ成長－ |
| NTT(株)光エレクトロニクス研究所 名西憶之、近藤直人、柴田知尋、山本知生、藤本正友 |
| EARLY STAGES OF THIN FILM GROWTH IN PLASMA ENHANCED CVD |
| 広島大学工学部 広瀬全孝、宮崎誠一 |
| メタンプラズマ中のラジカルと表面過程 |
| 名古屋大学工学部 菅井秀郎、豊田浩孝 |
| ディジタル・プロセス |
| 広島大学工学部 堀池靖浩、進藤春雄、長田昭義、中野雅行、伊勢田誠二 |
| ECRプラズマ安定性の制御とエッチング加工形状との相関 |
| 三菱電機(株) LSI研究所 西岡久作、藤原伸夫 |
| プラズマプロセスによる表面損傷と低損傷化 |
| (株)日立製作所中央研究所 水谷巽 |
| 総合討論 「プラズマ／表面をいかに観るか」 |
| モデレーター：広島大学工学部 広瀬全孝 |
| －そのひとつのアプローチとして－ |
| 赤外反射吸収分光法によるa－Si：H膜成長のin-situ 観察 |
| 電子技術総合研究所 豊島安健 |
| 螢光分光法によるレーザーアプレーションの動的その場観察 |
| 京都工芸繊維大学繊維学部 増原宏 |
| 表面X線分析及び高感度ラマン散乱法による“ in-situ” 薄膜評価の可能性 |
| 電子技術総合研究所 八百隆文、大柳宏之、谷野浩史 |
| ダイレクトリコイルスペクトロスコピーによるシリコン表面の研究 |
| (株)日立製作所中央研究所 田地新一 |