研究会一覧
MEETINGS
第10回研究会
平成2年9月14日(金) 筑波第一ホテル
| プログラム |
| 反応性プラズマ中の衝突励起過程 |
| 上智大学理工学部 田中大 |
| 反応性プラズマの静電プローブによる計測 |
| 武蔵工業大学電気電子工学科 松村昭作 |
| Diagnostics of RF glow discharge plasmas in SiH4 by spatiotemporally resolved optical emission spectroscopy |
| 慶応義塾大学理工学部 真壁利明 |
| レーザー螢光法による水素原子密度の測定 |
| 九州大学大学院総合理工学研究科 村岡克紀 |
| SiH4プラズマ中の反応制御 |
| 九州大学工学部 渡辺征夫、白谷正治 |