研究会一覧
MEETINGS
第13回研究会
平成3年5月5月10日(金)11日(士) 広島グランドホテル
| プログラム |
| マイクロ波プラズマエッチング装置の開発と実用化 |
| (株)日立製作所 機械研究所 掛樋豊、大本豊、縄田誠 (株)日立製作所 笠戸工場 川崎義直 (株)日立製作所 半導体設計開発センタ 野尻一男 (株)日立製作所 デバイス開発センタ 榎並弘充 |
| ECRスパッタ技術の動向 |
| NTT(株)光エレクトロニクス研究所 松岡茂登 |
| 表面磁場を用いた大口径ECRプラズマの生成 |
| 京都大学工学部 板谷良平、八坂保能、八田章光 |
| 平面ECRアンテナによる均一プラズマの生成 |
| 東北大学工学部 佐藤徳芳、飯塚哲、清野健一 日電アネルバ(株) 中川行人 |
| 大口径のECRプラズマソース |
| 東洋大学工学部 坂本雄一、羽金盛晴、小海秀樹 入江工研(株) 林雄造 |
| 永久磁石を用いたコンパクトECRプラズマ装置とSiエッチング特性 |
| 広島大学工学部 堀池靖浩、市橋秀樹、奈良井哲、進藤春雄 |
| ECRプラズマ状態とエッチング現象－ECRポジションでの高速・高選択・異方性エッチング－ |
| 日本電気(株)超LSI開発本部 寒川誠二 |
| ECR及びSWPプラズマ源の開発 |
| 住友金属工業(株)研究開発本部 宮原俊二、小町恭一 |
| リジターノコイルを用いた大口径ECRプラズマの生成 |
| 九州大学総合理工学研究科 河合良信、小森彰夫、田中雅慶、岸本堅剛、築山和好、吉原秀一 |