研究会一覧
MEETINGS
第15回研究会 大面積薄膜
平成3年11月22日(金) 博多全日空ホテル
| プログラム |
| 連続ドライコーティングによるステンレスコイルの表面改質技術 |
| 新日本製鐵(株)技術開発本部光技術研究部 高橋常利、小森唯志、及川雄介、伊藤叡 |
| 磁界変調プラズマCVD法によるアモルファスシリコン成膜 |
| 三菱重工業(株)技術本部長崎研究所 村田正義、竹内良昭 |
| ステンレス鋼板へのスパッタリング技術の応用 |
| 日新製鋼(株)加工事業開発部 塩谷樫夫 |
| プロセスプラズマのレーザー計測 |
| 九州大学総合理工学研究科レーザー応用プラズマ計測グループ 内野喜一郎 |
| 走査プラズマCVD法による膜厚分布制御 |
| 長崎大学工学部 藤山寛 |
| シランプラズマ中の微粒子の挙動と成長過程 |
| 九州大学工学部 渡辺征夫、白谷正治 |
| マルチスロットアンテナ型ECRプラズマCVD |
| 九州大学総合理工学研究科 河合良信、小森彰夫、田中雅慶、築山和好、吉原秀一 山口大学工学部 岸本堅剛 |
| 低温プラズマによる大面積薄膜の成長に関するコメント |
| 電子技術総合研究所 松田彰久 |