研究会一覧
MEETINGS
第17回研究会 プラズマと表面
平成4年5月22日(金) ホテルサンルート名古屋
| プログラム |
| A REVIEW OF MICROELECTRONIC FILM PROCCSSING USING DIRECT AND REMOTE ELECTRON－BEAM－GENERATED PLASMAS |
| Electrical Engineering Department State University George J．Collins |
| RF・CF4プラズマ中の負イオンの定量的計測 |
| 名古屋大学工学部 河野明廣 |
| 酸化物ターゲットのマグネトロンスパッタにおける成膜速度の角度分布 |
| (株)豊田中央研究所 景山恭行、多賀康訓 |
| 水素プラズマ照射で形成されるSi表面の凹凸 |
| (株)豊田中央研究所 石井昌彦、山本豊 |
| 水蒸気添加プラズマによる溶融シリコンの脱ボロン |
| 川崎製鉄(株)技術研究本部 馬場裕幸、湯下憲吉、阪口春彦、荒谷復夫 |
| プラズマCVDによるダイヤモンド合成 |
| 日本電装(株)基礎研究所 伊藤信衛、山元稔、中村聴、服部正 |