研究会一覧
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第21回研究会 酸素ラジカルとプラズマ材料科学
平成5年7月30日(金) 岐阜グランドホテル
| プログラム |
| 活性酸素の電子構造と生体内反応 |
| 富山大学工学部 松郷誠一 |
| 活性酸素－ 生成・検出・反応・消去 |
| 東京大学先端科学技術研究センター 二木鋭雄 |
| 酸素分子・原子による単結晶シリコン表面の酸化反応機構 |
| 千葉大学薬学部 津田譲、笈川節子 早稲田大学理工学部 星野忠次、大泊巌 |
| 酸素ラジカルのSi半導体プロセスへの応用 |
| 富士通(株)基礎プロセス開発部 藤村修三 |
| プラズマ生成酸素活性種とその有機反応 |
| 埼玉工業大学工学部 手塚還 |
| 固相パーオキシラジカルと表面改質 |
| 岐阜薬科大学 葛谷昌之 |