研究会一覧
MEETINGS
第23回研究会 プラズマプロセシングに係わる熱及び物質移動の基礎
平成6年1月28日(金)
弘済会館
| プログラム |
| クラスターの生成と凝縮 |
| 東京大学工学部 小竹進 |
| アークジェットのプラズマ流れシミュレーション |
| 東京大学工学部 荒川義博、藤田和央 |
| レーザーアプレーションのダイナミクスの研究 |
| 筑波大学物質工学系 村上浩一 |
| パルスコロナ無声放電による非平衡プラズマを用いた物質変換 －エネルギー高度有効利用と環境保全への応用－ |
| 束京工業大学炭素循環素材研究センター 岡崎健 |
| 枚葉式エッチャーのガス流動および反応シミュレーション |
| 東京エレクトロン(株)総合研究所 三浦豊、伝宝一樹、小宮太郎 |