研究会一覧
MEETINGS
第27回研究会
平成7年3月10日(金) ホテル日航金沢
| プログラム |
| 低圧ICP－CVD法によるc－BN薄膜堆積 |
| 東京大学工学部 一木隆範、吉田豊信 |
| 反応性スパッタによるZrO2薄膜作成中プラズマ中粒子の観測と反応の制御 |
| 金沢大学工学部 畑朋延、安藤亮、岡田洋和、佐々木公洋 |
| 反応性rfプラズマによる半導体表面修飾過程のX線光電子分光法による観測 |
| 金沢大学工学部 増田淳、森本章治、久米田稔、清水立生 石川県工業試験場 米澤保人 |
| a－Si：HプラズマCVDにおける表面・界面の原子レベル診断と制御 |
| 東京工業大学工業材料研究所 川崎雅司、松瀬充貴、内藤暢夫、鯉沼秀臣 |
| シランプラズマ表面反応の量子化学 |
| 千葉大学自然科学研究科 佐藤浩太、内山昭彦、本名浩、杉山陽子、岩淵晋 お茶の水女子大学理学部 平野恒夫 東京工業大学工業材料研究所 鯉沼秀臣 |