研究会一覧
MEETINGS
第31回研究会
平成8年3月22日(金) 弘済会館
| プログラム |
| 高密度プラズマに於ける経時変化とその機構 |
| アプライドマテリアルズジャパン(株) 石川吉夫、飯島幸夫、岡野晴雄 |
| 平行平板型エッチング装置における経時変化の制御 |
| 東京エレクトロン山梨(株) 田原好文、西村栄一、高倉秀樹 |
| 生産現場におけるプラズマプロセスの問題点 |
| 宮崎沖電気(株) 岩崎賢也、門川裕 |
| IRLAS法によるフロロカーボンプラズマ中のラジカルの経時変化の測定 |
| 名古屋大学工学研究科 後藤俊夫 |
| Simulation of Species Evolution in Plasma Sources for Plasma Processing on Long Time Scales |
| Dept. of Electrical Engineering Hokkaido University Peter L．G．Ventzek |