研究会一覧
MEETINGS
第36回研究会
平成9年9月12日(金) 新居浜工業高等専門学校
| プログラム |
| プラズマコーティング法によるITO膜の成膜 |
| 住友重機械工業(株)技術本部総合技術研究所 粟井清 |
| イオン注入装置用2.45 ‐ GHzECRイオン源の開発 |
| 住友イートンノバ(株)愛媛事業所 松下浩、城之下勇、椛澤光昭 東京大学大学院理学系研究科付属原子核科学研究センター 関口雅行 |
| 負性電子親和力ダイヤモンド表面を用いた薄膜電子エミッターの開発 |
| 大阪大学大学院工学研究科 八田章光、伊藤利道 高知工科大学電子・光システム工学科平木昭夫 |
| 絶縁パルスプローブ(表面絶縁型パルスプローブ法) |
| 新居浜工業高等専門学校 出口幹雄、板谷良平 |
| プラズマによる都市ごみ焼却灰・飛灰溶融処理 |
| (株)荏原製作所 神保元、雨宮俊郎、菊地猛、合田泰之 |