研究会一覧
MEETINGS
第42回研究会 プラズマと微粒子
平成11年3月11日(木)・12日(金) 東北大学
| プログラム |
| CVDプラズマ中におけるクラスター成長 |
| 九州大学大学院システム情報科学研究科 渡辺征夫、自谷正治 |
| プラズマ中における微粒子雲の振舞い |
| 東北大学大学院工学研究科 佐藤徳芳、飯塚哲、内田儀一郎、尾崎亮一 |
| プラズマエッチング装置における剥離パーティクル計測 |
| 富士通研究所(株) 鎌田剛 富士通VLSl(株) 三輪和広、有本宏 |
| 熱プラズマを用いた複合微粉末の合成 |
| 日清製粉(株)生産技術研究所 藤井隆司、西村敬一、湯蓋一博 |
| 学振153委員会委員の研究紹介 |
| 松田彰久(電子技術総合研究所・薄膜シリコンスーパーラボ) 藤岡洋 (東京大学大学院工学系研究科) 橘邦英(京都大学大学院工学研究科) 松浦孝 (東北大学電気通信研究所) |