研究会一覧
MEETINGS
第53回研究会 プラズマ装置の信頼性
平成13年11月16日(金)
京都府総合見本市会館
| プログラム |
| プラズマ電源と周辺機器の信頼性及び課題 |
| (株)アドテックプラズマテクノロジー 藤井修逸 |
| 高密度プラズマ反応器の信頼性向上 |
| (株)サムコインターナショナル研究所 中野博彦 |
| エッチング装置開発課題と開発環境の変化 |
| (株)アルバック半導体技術研究所 林俊雄 |
| 量産型DFR酸化膜ドライエッチング装置と、その信頼性・課題 |
| アネルバ(株) 塚田勉、佐護康実、吉田達彦、小平吉三 |
| プロセス開発における課題と取り組み |
| 東京エレクトロンAT (株) ES開発部 石原博之、永関一也 |