研究会一覧
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第54回研究会 プラズマ診断・モニタリング技術の新展開
平成14年1月29日(火) 弘済会館
| プログラム |
| 負イオン密度，電子密度，電子エネルギー分布のレーザー計測 |
| 名古屋大学先端技術共同研究センター 河野明廣 |
| プラズマ吸収プローブによる電子密度モニタリングの新展開 |
| 名古屋大学大学院工学研究科 菅井秀郎 |
| 希ガス発光分光法とラングミュアプローブ法を併用した低気圧、高密度プラズマ中の電子エネルギー分布の推定 |
| 防衛大学校電気情報学群電気電子工学科 中野俊樹 東北大学流体科学研究所 寒川誠二 |
| in－vacuo ESRによるフルオロカーボンフィルムの解析 |
| ASET 石川健治、沖川満、関根誠、中村守孝 JRCAT 山崎聡、安田哲二、磯谷順一 |
| 光センサを用いたRF高調波モニタリングの異常検知システムへの適用 |
| 宮崎沖電気(株) 門川裕、林俊司 |