研究会一覧
MEETINGS
第59回研究会 超精密洗浄技術
平成14年11月13日(水) 東京大学
| プログラム |
| 半導体ウェット洗浄の基礎 |
| 東京大学大学院 小川洋輝、堀池靖浩 |
| メタン-水素プラズマによる実装基板のドライ洗浄 |
| (株)サムコインタｰナショナル研究所 本庄一大、寺井弘和、山漆博司、立田利明、辻理 |
| 表面実装プロセスにおけるプラズマドライ洗浄技術 |
| イビデン(株) 塚田輝代隆 |
| 大気圧プラズマ洗浄 |
| 上智大学理工学部 小駒益弘、田中邦翁 |
| Plasma Cleaning Source for CVD system |
| New Power Plasma Co. Byung Chun Choi |
| フッ化カルボニルCOF2によるプラズマCVDチャンバｰクリｰニング |
| (財)地球環境産業技術研究機構 別府達郎 |