研究会一覧
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第115回研究会 プラズマモニタリングと異常放電
平成26年01月10日(金)～11(土) やすらぎ伊王島
| プログラム | |
| 第1日目 | Introductory Talk |
| 長崎大学 藤山 寛 | |
| カｰリングプロｰブによるプラズマモニタリング | |
| 中部大学 中村 圭二 | |
| プラズマインピｰダンス計測による高周波放電モニタリング | |
| 片桐エンジニアリング 桒原 清,田 昭治 | |
| インピｰダンス測定法を用いた量産ラインにおける異常検出法の開発 | |
| 産総研九州センタｰ 本村 大成,笠嶋 悠司,福田 修,上杉 文彦 株式会社アドバンテスト 栗田 裕之,木村 直也 |
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| 量産プラズマ処理装置における異常放電とその検出法 | |
| 株式会社クリエイティブテクノロジｰ 八坂 三夫 | |
| 第2日目 | プラズマ診断技術の最新動向 |
| 名古屋大学 堀 勝 | |
| プラズマエッチング装置におけるモニタリング技術 | |
| 株式会社日立ハイテクノロジｰズ 伊澤 勝 | |
| MF(Medium Frequency)交流放電プラズマによるPECVD技術の産業応用 ～バリア膜形成用PECVDロｰルコｰタとDLC成膜用PECVD装置～ |
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| 株式会社神戸製鋼所 玉垣 浩 | |