研究会一覧
MEETINGS
第117回研究会 プラズマ材料科学のフロンティア
平成26年6月12日(木) 弘済会館
| プログラム | |
| 13:20～14:10 | 「次世代シリコンナノエレクトロニクスの課題 － 新しい薄膜材料の開発とプラズマプロセスへの期待」 |
| 名古屋大学大学院工学研究科 財満 鎭明 | |
| 14:10～15:00 | 「プラズマによる薄膜形成:何を目指しどのように実現するか」 |
| 九州大学大学院システム情報科学研究院 白谷正治 | |
| 15:00～15:20 | 休憩 |
| 15:20～16:10 | 「独創的研究が創出するプラズマ材料イノベーション」 |
| 名古屋大学大学院工学研究科 堀 勝 | |
| 16:10～17:00 | 「熱プラズマプロセッシングのフロンティア」 |
| 九州大学大学院工学研究院 渡辺隆行 | |
| 17:30～19:00 | 交流会 |