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第130回研究会 プラズマを用いた新奇プロセス・新規材料創製
2017年4月21日(金) なごやサイエンスパーク サイエンス交流プラザ
開催日: | 2017年4月21日(金) |
会 場: | なごやサイエンスパーク サイエンス交流プラザ http://www.nipc.or.jp/nsp/plaza.html |
交通の案内: |
[注意事項] |
趣 旨: | プラズマ技術は、新たなプロセスへの適用や新しい材料の創成によって、ますますその世界が広がりつつある。どのような視点で、新奇プロセスや新規材料へ展開したかを議論することは、同様の展開をさらに進める上で重要だと考える。そこで、今回は『プラズマを用いた新奇プロセス・新規材料創製』において、第一線で研究開発を牽引する企業・大学の研究者にご講演をいただき、それらの研究開発の現状および将来展望について理解を深めるとともに、プラズマ材料科学のさらなる可能性を考える機会としたい。 |
プログラム | |
13:00-13:15 | 総会 堀 勝(学振153委員会委員長) |
13:15-13:25 | PLACIA代表ご挨拶 名古屋産業振興公社プラズマ技術産業応用センター 平野 幸治 |
13:25~14:15 | (招待講演)「超精密加工のためのプラズマ融合CMPの開発の現状と今後の展望」 学振136委員長・九州大学産学連携センター 土肥 俊郎 |
14:15~14:55 | (招待講演)「不純物添加スパッタリングによる高移動度アモルファスITOの作製」 九州大学システム情報 板垣奈穂 |
14:55~15:10 | 休 憩 |
15:10~15:50 | (招待講演)「スパッタリングによるKNN圧電薄膜の形成と評価」 株式会社 サイオクス 柴田憲治 |
15:50~16:20 | (招待講演)「電子ビーム励起プラズマを用いたcBN膜コーティングと難窒化材の窒化」 株式会社 片桐エンジニアリング 山川晃司 |
16:20~16:50 | (招待講演)「プラズマ溶射粒子の温度・速度同時測定を現場で実現する小型計測装置」 株式会社 プラズワイヤー 川口保幸 |
16:50~17:30 | PLACIA見学会 |
18:30~20:30 | 交流会 |