研究会一覧
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30周年記念講演会 プラズマ材料科学の未来
| 日時： | 平成29年7月21日（金） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 場所： | 東京工業大学 蔵前会館「くらまえホール」 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 会場アクセス： | http://www.somuka.titech.ac.jp/ttf/ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 参加費： | 無料 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 交流会費用： | 153委員 1,000円，一般3,000円 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 申し込み： | 申し込みページへ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 開催趣旨： | 今回の研究会では，プラズマ材料科学153委員会の創立30周年を記念して，これまでの本委員会の活動を、（１）低温プラズマ材料科学、（２）熱プラズマ材料科学、および（３）半導体プロセスに特化したプラズマ材料科学の3つのカテゴリーに大別して総括するとともに，これらの3つのプラズマ材料科学分野の将来像，および新たな分野への展開などについて公開シンポジウムとして議論いたします。40代の研究者を中心に、各分野でのプラズマ材料科学についてのビジョンや学術の中でのプラズマ研究の展開について情報提供いただき，それらをもとにプラズマ材料科学の基礎，応用の将来について議論いたします，最後にフリーディスカッションを通して，153委員会の進むべき将来像を深く議論することを目的として企画立案しました。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| プログラム： |
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| 予稿集： | 00 目次 30周年記念講演会資料 01 １５３委員会：黎明・設立期の想い出 吉田先生 02 低温プラズマ材料科学のマイルストーン 名大堀先生 03 熱プラズマ材料科学のマイルストーン 九州大渡辺先生 04 半導体デバイス開発を支える低温プラズマ応用技術の発展 ソニー辰巳様 05 近未来のプラズマ成膜技術 九大白谷先生 06 DLCの現在と未来 東工大大竹先生 07 熱プラズマで未来創成：発生・制御・計測・数値解析技術から 金沢大田中先生 08 新たな材料プロセッシングに向けた熱プラズマの挑戦 東大神原先生 09 高速表面処理に向けた新しい大気圧プラズマ源の開発 名大鈴木先生 10 プラズマを用いた原子層エッチング技術の最前線 日立篠田様 11 プラズマ計測の今後の展開－プラズマのより深い理解に向けて 東大小野先生 12 気液界面プラズマが拓く未来 東北大金子先生 13 次世代のプラズマ材料科学を支える計算科学 首都大杤久保先生 |
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