委員紹介

MEMBERS

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1. プラズマナノプロセス
   シリコン集積回路におけるエッチング技術の開発（高アスペクト比エッチング、原子層エッチング、原子層堆積）、GaNパワーデバイスプロセス技術の開発（ラジカル支援MOCVD、ダメージフリーエッチング、ラジカル支援MBE）、太陽電池プロセス技術の開発（微結晶シリコン製膜、オールカーボン太陽電池）、次世代プロセスの開発（カーボンナノウォール、ナノグラフェン、ナノチューブ、ナノ微粒子担持、ガラスの高精度･高速加工、自律型プラズマ製造装置の開発）
2. プラズマ計測科学
   プラズマ誘起表界面反応のダイナミックス計測技術の開発（真空紫外レーザー吸収分光法、レーザー誘起蛍光法、赤外―紫外吸収分光法、閾値質量分析法、Liイオン付着質量分析法、電子付着質量分析法、近赤外吸収分光法、和周波振動分析法、マルチプレックスCRS、レーザー光脱離飛行型質量分析法、リアルタイム電子スピン共鳴法、反射型赤外吸収分析法、レーザートムソン散乱法、マイクロ波干渉計などを駆使したプラズマ科学の確立）

3. プラズマ医療、農水産分野の開拓
   低温大気圧プラズマ源の開発、プラズマによるがん治療、プラズマの植物や魚類への成長促進と水の清浄、食物の滅菌･殺菌への応用

プラズマ表界面 反応計測装置	プラズマ医療	プラズマ半導体プロセス

1. H. Tanaka, M. Mizuno, K. Ishikawa, K. Nakamura, F. Utsumi, H. Kajiyama, H. Kano, S. Maruyama, F. Kikkawa, M. Hori
   Cell survival and proliferation signaling pathways are downregulated by plasma-activated medium in glioblastoma brain tumor cells
   Plasma Medicine 2(4) (July 23, 2014) 207-220, DOI: 10.1615/PlasmaMed.2013008267
2. Fumi Utsumi, Hiroaki Kajiyama, Kae Nakamura, Hiromasa Tanaka, Masaaki Mizuno, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Hiroyuki Kano, Masaru Hori, and Fumitaka Kikkawa
   Effect of Indirect Nonequilibrium Atmospheric Pressure Plasma on Anti-Proliferative Activity against Chronic Chemo-Resistant Ovarian Cancer Cells In Vitro and In Vivo
   PLoS ONE 8 (12) (Dec. 18, 2013) e81576, DOI: 10.1371/journal.pone.0081576
3. Wakana Takeuchi, Keigo Takeda, Mineo Hiramatsu, Yutaka Tokuda, Hiroyuki Kano, Shigeru Kimura, Osami Sakata, Hiroo Tajiri, and Masaru Hori
   Monolithic self-sustaining nanographene sheet grown using plasma-enhanced chemical vapor deposition
   Phys. Status Solidi A 207, pp. 139-143 (2010).
4. M. Iwasaki, H. Inui, Y. Matsudaira, H. Kano, N. Yoshida, M. Ito, and M. Hori
   Nonequilibrium Atmospheric Pressure Plasma with Ultrahigh Electron Density and High Performance for Glass Surface Cleaning
   Appl. Phys. Lett., Vol. 92, pp. 081503-1-081503-3, February 2008

5. M. Hori and T. Goto
    Insights into sticking of radicals on surfaces for smart plasma nano-processing
   Applied Surface Science, 253, pp. 6657?6671 (2007)