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東京大学大学院 工学系研究科 バイオエンジニアリング専攻

半導体製造に用いられるナノ・マイクロ製造技術を応用したバイオデバイスに関して、微細加工技術の開発からシステムの創製までを研究しています。

1. バイオデバイス・マイクロ流体デバイスの製造技術
2. 機能集積ナノバイオシステムの開発
3. 細胞、生体粒子計測デバイス・センサーの開発
4. 低圧高密度プラズマ・大気圧マイクロプラズマの微細加工、表面処理応用

1. T. Ichiki, et al., “Novel microfluidic valve technology based on shape memory effect of poly(ε-caprolactone)”, Appl. Phys. Express, 6, 037201 (2013).
2. T. Ichiki, et al., “Cell electrophoresis on a chip: what can we know from the changes in electrophoretic mobility?”, Anal. Bioanal. Chem., 391, 2433 (2008).
3. T. Ichiki, et al., “Localized and ultrahigh-rate etching of silicon wafers using atmospheric-pressure microplasma jets”, J. Appl. Phys. 95, 35 (2004).
4. T. Ichiki, et al., “An atmospheric-pressure microplasma jet source for the optical emission spectroscopic analysis of a liquid sample”, Plasma Sources Sci. Technol. 12, s16 (2003).
5. T. Ichiki, et al., “Effects of the substrate bias on the formation of cubic boron nitride by inductively coupled plasma enhanced chemical vapor deposition”, J. Appl. Phys. 75, 1330 (1994)