研究会一覧
MEETINGS
第2回研究会
昭和63年7月15日(金) 東北大学
プログラム |
イオンプレーティングとその応用 |
東洋大学工学部 村山洋一 |
非平衡RFプラズマのモンテカルロモデリング |
北海道大学工学部 田頭博昭 |
プラズマ重合による機能性薄膜の合成 |
茨城大学教養部 長田義仁 |
光励起分子層エピタキシーの反応機構 |
東北大学電気通信研究所 西澤潤一 (財)半導体研究振興会半導体研究所 倉林徹 |
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プログラム |
イオンプレーティングとその応用 |
東洋大学工学部 村山洋一 |
非平衡RFプラズマのモンテカルロモデリング |
北海道大学工学部 田頭博昭 |
プラズマ重合による機能性薄膜の合成 |
茨城大学教養部 長田義仁 |
光励起分子層エピタキシーの反応機構 |
東北大学電気通信研究所 西澤潤一 (財)半導体研究振興会半導体研究所 倉林徹 |