プラズマ材料科学基礎講座一覧
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プラズマ材料科学基礎講座一覧
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| 研究会/日時 | タイトル | 講師 |
| 第159回 2022.10.18 |
「半導体製造におけるプラズマプロセス由来のダメージとその評価手法」 基礎講座資料 |
布村正太（産業技術総合研究所） |
| 第157回 2022.6.25 |
「大気圧低温プラズマシミュレーション」 基礎講座資料 |
杤久保文嘉（東京都立大学） |
| 第155回 2022.4.27 |
「『高気圧プラズマ流動の基礎物理・化学』 －プラズマプロセスシミュレータの創成－」 基礎講座資料 |
西山秀哉（東北大学名誉教授） |
| 第154回 2022.1.28 |
「半導体デバイス製造のためのプラズマエッチング技術」 基礎講座資料 |
⾠⺒哲也（ソニーセミコンダクタソリューションズ） |
| 第152回 2021.8.31 |
「プラズマは生物の敵か味方か？」 基礎講座資料 |
金子俊郎（東北大学） |
| 第151回 2021.6.17 |
「熱プラズマモデリングの基礎物理 ―熱力学・輸送特性・電磁熱流体解析と相互作用―」 基礎講座資料 |
田中康規（金沢大学） |
| 第148回 2020.12.18 |
「データ駆動プラズマ科学」 基礎講座資料 |
浜口智志（大阪大学） |
| 第147回 2020.11.12 |
「プラズマ触媒とは」 基礎講座資料 |
金賢夏（産業技術総合研究所） |
| 第146回 2020.9.4 |
「レーザー誘起蛍光法 ―定量的な計測のために―」 基礎講座資料 |
佐々木浩一（北海道大学） |
| 第145回 2020.6.26 |
「プラズマエッチング技術の基礎」 基礎講座資料 |
関根誠（名古屋大学） |
| 第145回 2020.6.26 |
「熱プラズマプロセッシングの基礎」 基礎講座資料 |
渡辺隆行（九州大学） |
| 第144回 2020.2.7 |
｢プラズマ材料科学とナノテクノロジー｣ ・第16回基礎講座資料 |
凸版印刷 新事業開発本部・宇山晴夫 |
| 第141回 2019.6.28 |
「プラズマエッチングとプラズマダメージの基礎」 ・第15回基礎講座資料 |
京都大学 江利口 浩二 |
| 第140回 2019.4.26 |
「パルスパワー発生技術の概要とパルスプラズマの特徴」 ・第14回基礎講座資料 |
秋山 秀典（熊本大学名誉教授） |
| 第139回 2018.12.21 |
「ナノアーキテクチュア視座プラズマ材料科学の基礎」 ・第13回基礎講座資料 １ ・第13回基礎講座資料 ２ |
畠山力三（東北大学） |
| 第137回 2018.8.3 |
「熱プラズマを用いた機能性ナノ粒子合成の基礎」 ・第12回基礎講座資料（会員のみ） |
石垣隆正（法政大学） |
| 第136回 2018.6.29 |
「大気圧アーク放電における電極現象 〜溶接アーク現象解析の視点から〜」 ・第11回基礎講座資料（会員のみ） |
田中学（大阪大学） |
| 第135回 2018.4.27 |
「低圧から大気圧における各種プラズマ生成／材料表面処理技術」 ・第10回基礎講座資料（会員のみ） |
永津雅章（静岡大学） |
| 第134回 2018.1.18 |
「プラズマ誘起表面反応の基礎〜計測&診断技術を主体として〜」 | 堀勝（名古屋大学） |
| 第133回 2017.8.9 |
「プラズマ農業の基礎と応用」 | 高木浩一（岩手大学） |
| 第131回 2017.6.27 |
「プラズマエッチング技術の基礎」 | 関根誠（名古屋大学） |
| 第130回 2017.4.21 |
「大気圧低温放電プラズマの発生と応用」 | 水野彰（豊橋技術科学大学大学名誉教授） |
| 第127回 2016.7.5 |
「大気圧プラズマの基礎と表面処理への応用」 | 小駒益弘（上智大学名誉教授） |
| 第126回 2016.5.24 |
「プラズマ表面改質技術〜基礎から応用，最前線まで〜」 | 高井治（関東学院大学） |
| 第124回 2016.2.9 |
「ナノ-アトム制御プラズマ材料科学の基礎」 | 畠山力三（東北大学） |
| 第123回 2015.10.21 |
「水中コロナ放電ストリーマのメカニズム～環境・バイオ技術への応用の基礎として」 | 橘邦英（大阪電気通信大学学長，京都大学名誉教授） |
| 第122回 2015.8.4 |
「大気圧プラズマの基礎と応用」 | 小田哲治（東京大），岡崎幸子（上智大） |