研究会一覧
MEETINGS
第3回研究会
昭和63年10月21日(金)・10月22日(士) 京都大学
| プログラム |
| 薄膜の物性研究の問題点 |
| 東京大学工学部 金原粲 |
| プラズマを用いた半導体表面パッシベイション |
| 京都大学工学部 松波弘之、冬木隆 |
| プラズマ化学的方法による分析化学材料の創製 |
| 京都薬科大学薬学部 穂積啓一郎 |
| 高温超伝導薄膜 |
| 住友電気工業(株)基礎技術研究所 糸崎秀夫 |
| RF放電プラズマの時間・空間特性の分光計測 |
| 京都工芸繊維大学工芸学部 橘邦英 |
| アモルファスカーボン膜の作成とその応用 |
| (株)サムコインターナショナル研究所 辻理、立田利明、PeterWood、小川雅人 |
| プラズマによる排ガス処理 |
| 京都大学工学部 板谷良平 |
| プラズマエッチングと表面損傷 |
| 同志社大学工学部 谷口一郎 |