研究会一覧
MEETINGS
第11回研究会
平成2年12月5日(水) 名古屋愛知会館
| プログラム |
| レーザー及びマイクロ波分光法による短寿命反応中間体の検出と分子構造 |
| 総合研究大学院大学分子科学研究所 鹿田榮治 |
| レーザー吸収分光法によるRFプロセスプラズマ計測 |
| 名古屋大学工学部 後藤俊夫 |
| レーザーイオン化法のプラズマプロセスの計測への応用 |
| 九州大学工学部 岡田龍雄、前田三男 |
| 赤外分光によるアモルファスシリコン薄膜成長の観察 |
| 電子技術総合研究所 豊島安健 |