研究会一覧
MEETINGS
第15回研究会 大面積薄膜
平成3年11月22日(金) 博多全日空ホテル
プログラム |
連続ドライコーティングによるステンレスコイルの表面改質技術 |
新日本製鐵(株)技術開発本部光技術研究部 高橋常利、小森唯志、及川雄介、伊藤叡 |
磁界変調プラズマCVD法によるアモルファスシリコン成膜 |
三菱重工業(株)技術本部長崎研究所 村田正義、竹内良昭 |
ステンレス鋼板へのスパッタリング技術の応用 |
日新製鋼(株)加工事業開発部 塩谷樫夫 |
プロセスプラズマのレーザー計測 |
九州大学総合理工学研究科レーザー応用プラズマ計測グループ 内野喜一郎 |
走査プラズマCVD法による膜厚分布制御 |
長崎大学工学部 藤山寛 |
シランプラズマ中の微粒子の挙動と成長過程 |
九州大学工学部 渡辺征夫、白谷正治 |
マルチスロットアンテナ型ECRプラズマCVD |
九州大学総合理工学研究科 河合良信、小森彰夫、田中雅慶、築山和好、吉原秀一 山口大学工学部 岸本堅剛 |
低温プラズマによる大面積薄膜の成長に関するコメント |
電子技術総合研究所 松田彰久 |