研究会一覧
MEETINGS
第19回研究会
平成5年2月5日(金) 京王プラザホテル
| プログラム |
| 画像処理法を用いたプロセシングプラズマの分光診断 |
| 室蘭工業大学工学部伊藤秀範、武山保人、佐藤孝紀、中尾好隆 北海道大学工学部 田頭博昭 |
| SiH4RFプラズマのモデリング －プラズマ化学・膜堆積過程統合的モデル－ |
| 日電(株)ULSIデバイス開発研究所 横澤亜由美 北海道大学工学部 田頭博昭 北海道工業大学 北守一隆 |
| プラズマによるNO2処理過程のシミュレーション |
| 北見工業大学 吉田公策 北海道大学工学部 田頭博昭 |
| Si、GaAs上の有機金属化合物の熱分解と光分解 |
| 北海道大学電子科学研究所 川崎昌博 |
| 低周波プラズマCVDによるSiO2膜を用いたGaAs 表面保護 |
| 北海道職業訓練短期大学校 橋詰保、吉野正樹 北海道大学工学部 長谷川英機、田頭博昭 北海道大学医療技術短期大学部 下妻光夫 |