研究会一覧
MEETINGS
第22回研究会 RF誘起高密度プラズマの生成と応用
平成5年10月22日(金) 主婦会館
| プログラム |
| ヘリコン波プラズマの生成機構 |
| 名古屋大学プラズマ科学センター 庄司多津男 |
| モード制御RFを用いたヘリコン波領域におけるプラズマ生成 |
| 京都大学工学部 八坂保能、原嘉明 新居浜工業高等専門学校 板谷良平 |
| ヘリコン波プラズマによるSiO2とAl合金のエッチング |
| 日電アネルバ(株) 塚田勉、野上裕、真下公子、和仁悦夫、中川行人 |
| 誘導RFプラズマにおけるアンテナとの静電カップリング |
| 名古屋大学工学部 菅井秀郎、中村圭二、彦坂幸信 |
| 誘導結合プラズマを用いた高速・高選択比SiO2エッチング |
| 広島大学工学部 深沢孝之、中村章裕、堀池靖浩 福山大学工学部 進藤春雄 |
| 誘導結合プラズマの酸化膜エッチング特性 |
| シャープ(株)超LSI開発研究所 佐藤雅幸、東田敬行、川野裕介、竹原大輔、石濱晃、崎山恵三 |