研究会一覧
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第26回研究会 プラズマプロセスの診断1 －気相の診断を中心にして－
平成6年10月28日(金) 弘済会館
| プログラム |
| プラズマ診断概論 |
| 東京工業大学大学院総合理工学研究科 清水勇 |
| プロセスプラズマのプローブ計測 |
| 武蔵野工業大学工学部 堤井信力 |
| レーザー分光(吸収、蛍光)、散乱法による分析 |
| 京都工芸繊維大学工芸学部 橘邦英 |
| 赤外吸収・質量分析・光脱離によるラジカル及び負イオン計測 |
| 名古屋大学工学部 河野明廣 |
| 大気圧低温トーチプラズマの診断 |
| 東京工業大学工業材料研究所 猪俣清人 |
| ECRプラズマエッチングにおける反応種と反応生成物の診断と制御 |
| 三菱電機(株)中央研究所 斧高一 |