研究会一覧
MEETINGS
第35回研究会 UHF、VHF帯プラズマ特性の解明をめざして
平成9年6月10日(火) 弘済会館
| プログラム |
| 超RF帯プラズマ生成について |
| 名古屋大学大学院工学研究科 菅井秀郎 |
| 100MHz帯高周波の伝播特性とプラズマ生成 |
| 岡山大学工学部電気電子工学科 福山淳 |
| VHF、UHF帯プラズマへのRF電力の整合方法 |
| 日本高周波(株) 柏木厚、篠原己抜 |
| UHF帯ECRプラズマ特性 |
| 技術研究組合超先端電子技術開発機構(ASET) 板橋直志、沖川満、野田周一 (株)日立製作所中央研究所 横川賢悦、根岸伸幸、鈴木敬三、田地新一 |
| 放電周波数の効果とUHFプラズマによる高精度エッチング |
| 日本電気(株)マイクロエレクトロニクス研究所 寒川誠二 防衛大学校 明石治朗、中野俊樹 |