研究会一覧
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第37回研究会 有機プラズマの研究動向とプラズマ材料科学のトピックス
平成9年12月15日(月) 東洋大学
| プログラム |
| 低温プラズマ照射による高分子ラジカルの生成と構造緩和 |
| 岐阜薬科大学 葛谷昌之 |
| プラズマによる有機材料の表面改質とその機能性 |
| 静岡大学工学部 稲垣訓宏 |
| プラズマ重合膜を用いた化学センサー |
| 物質工学工業技術研究所有機材料部 黒澤茂 北海道大学薬学部 加茂直樹 |
| フッ素化アモルファスカーボン低誘電率膜の生成とULSI多層配線への適応 |
| 日本電気(株)シリコンシステム研究所 辰巳徹、遠藤和彦 |
| 東洋大学バイオ・ナノエレクトロニクス研究センター研究目的と最近の成果 |
| ①「HFE227（テトラフルオロエチルトリフルオロメチルエーテル）への有機シラン添加による高選択比・高アスペクト比酸化膜エッチング」 |
| 東洋大学工学部 堀池靖浩、鎮西康彦、尾形誠、小澤正則、一木隆徳 |
| ②「ポルフィリン金属錯体のプラズマ重合膜の作成とそのバイオセンサーへの応用」 |
| 東洋大学工学部 吉田泰彦、柏木邦宏、村山洋一 |