研究会一覧
MEETINGS
第43回研究会 マイクロマシンとプラズマ技術
平成11年9月9日(木) 東京大学
| プログラム |
| マイクロマシン技術とプラズマプロセス |
| 東北大学未来科学技術共同研究センター 江刺正喜 |
| 光マイクロマシンの加工 |
| NTT光通信エネルギー研究所 津田廉士 |
| 角速度センサと加工技術 |
| 姫路工業大学工学部 前中一介 |
| LIGAプロセス技術 |
| 立命館大学理工学部 杉山進 |
| プラズマ加工マイクロキャピラリ電気泳動チップの作製と評価 |
| 東洋大学工学部 一木隆範 東京大学大学院工学系研究科 堀池靖浩 |
| 学振153委員会委員の研究紹介 |
| 手塚還(埼玉工業大学工学部) 白井肇(埼玉大学大学院機能材料工学専攻) 稲葉次紀(中央大学理工学部電気電子工学科) |
| 『プラズマ材料科学賞』 |
| 第2回プラズマ材料科学賞・受賞者と研究概要 |