研究会一覧
MEETINGS
第49回研究会 微結晶シリコンの高速製膜
平成13年2月9日(金) 弘済会館
| プログラム |
| 製膜プロセスにおけるプラズマ |
| 東北大学大学院工学研究科 佐藤徳芳、栗本祐司、清水鉄司、内田儀一郎、飯塚哲 |
| 東北大電気通信研究所 末光眞希 |
| 高密度プラズマ生成とそのシリコン製膜への応用 |
| 名古屋大学大学院工学研究科 菅井秀郎、豊田浩孝 |
| 松下電器産業(株) 後藤真志 |
| プラズマCVDを用いた高圧枯渇領域における微結晶シリコンの低温高速成長 |
| 電子技術総合研究所 近藤道雄、松田彰久 |
| 高密度マイクロ波プラズマの制御と微結晶シリコンの高速製膜への応用 |
| 埼玉大学工学部 白井肇、佐久間喜和、吉野浩一、大河原豪 日本高周波(株) 上山寛之 |
| 電子線励起プラズマCVD法による微結晶シリコンの成長 |
| 豊田工業大学 大下祥雄、山口真史 |
| 微結晶シリコン膜の熱プラズマ超高速CVD |
| 東京大学大学院工学系研究科 蔡容基、大野浩賢、吉田豊信 |