研究会一覧
MEETINGS
第62回研究会 大気圧プラズマの生成、計測と応用
平成15年7月18日(金) 愛知厚生年金会館
| プログラム |
| 大気圧プラズマを用いたSi窒化プロセスとその気相診断 |
| 大阪府立大学 藤村紀文、早川竜馬 積水化学工業(株) 北島裕也、湯浅基和 |
| 大気圧プラズマによる超精密加工プロセスとその分光計測 |
| 大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター 遠藤勝義 大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻 押鐘寧 |
| 窒素酸化物除去を目的とした高気圧放電プラズマの分光診断 |
| 東京都立大学大学院工学研究科電気工学専攻 栃久保文嘉、内田諭、渡辺恒雄 |
| 大気圧マイクロプラズマを用いた高速エッチングプロセスとその応用 |
| 松下電器産業(株)生産コア技術研究所 奥村智洋、斎藤光央 |
| 大気圧グロｰプラズマによるCVD技術の開発と機能性有機、無機薄膜堆積 |
| 上智大学理工学部化学科 小駒益弘 |