研究会一覧
MEETINGS
第63回研究会 難処理材料の加工
平成15年10月16日(木) 東京大学
| プログラム |
| 磁性材料のドライエッチング微細加工 |
| (独) 物質・材料研究機構 中谷功 |
| 非ハロゲン系ガスによる磁性材料のエッチング |
| アネルバ(株) 塚田勉、小平吉三、長田智明 |
| ドライプロセスを用いたPZT厚膜の微細加工とその微小変位特性 |
| (株)産業技術総合研究所 スマートストラクチャー研究センター 飯島高志、伊藤佐千子、松田弘文 |
| ガラス基盤のディｰプドライエッチング |
| 東洋大学工学部電気電子工学科一木隆範 |
| 化合物半導体のドライエッチング技術-難加工性のInAIAs,GaNを中心として- |
| 東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻杉山正和 東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻霜垣幸浩 東京大学先端科学技術研究センタｰ中野義昭 |