研究会一覧
MEETINGS
第70回研究会 MEMS デバイスの加工技術
平成17年2月22日(火) 弘済会館
| プログラム |
| プラズマエッチングと複合加工技術のMEMS応用 |
| 東京工業大学大学院 工学研究科 小野 崇人 |
| オムロンのMEMS加工技術 |
| オムロン株式会社 技術本部 先端デバイス研究所 西尾 英俊 |
| 大日本印刷のMEMSへ取り組み |
| 大日本印刷株式会社 研究開発センタｰ 電子システム研究所 鈴木 浩助,竹居 滋郎 |
| NLD を用いたMEMS/NEMS デバイス向けエッチング技術｣ |
| 株式会社アルバック 半導体技術研究所 森川 泰宏 |
| Bosch プロセスとMEMS 加工 |
| サムコ株式会社 開発第1 グルｰプ 倉富 直行,中野 博彦 |