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第73回研究会 実用プラズマプロセス技術の最前線:DLCの謎に迫る
～何がどこまでわかっているのか～
平成17年11月14日(月) 東京大学 武田先端知ビル5F武田ホｰル
日本学術振興会プラズマ材料科学153委員会(委員長:橘 邦英)では,下記の要領で,来る11月14日(月)の午後,東京において｢実用プラズマプロセス技術の最前線～DLCの謎に迫る～｣(全3回のシリｰズ企画の1回目)を公開研究会として開催します.多くの企業ですでに実用化されているDLC(ダイヤモンドライクカｰボン)の作成プロセスや応用において,水素の果たす役割,ドｰピング,結晶構造,耐熱温度,基板温度,密着性,機能,新しい応用領域など,まだまだ良く理解されていない謎に迫る研究会にしたいと考えております.
| プログラム |
| DLC |
| 名古屋大学 高井 治 |
| アモルファス炭素系薄膜を科学するためのリサｰチクラスタｰ |
| 長岡技術科学大学 斎藤 秀俊 |
| ダイヤモンドライクカｰボンとフィルタｰドアｰク蒸着 |
| 豊橋技術科学大学 滝川 浩史 |
| DLC薄膜の密着性・耐久性の改善と医療応用 |
| 静岡県 富士工業技術センタｰ 真野 毅 |
| 三菱重工業におけるDLCの開発・実用化状況 |
| 三菱重工業(株) 渡辺 俊哉 |