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第74回研究会 プラズマ用電源の基礎と応用
平成18年1月13日(金) (株)アドテックプラズマテクノロジｰ
| プログラム | |
| 13:00～13:35 | 高周波プラズマ装置の最適化と問題点 |
| (株)アドテック プラズマ テクノロジｰ 藤井 修逸 | |
| 13:35～14:10 | プラズマ生成用マイクロ波電源 |
| 日本高周波(株) 篠原 己抜 | |
| 14:10～14:45 | プラズマ発生用電源の最適化と小型化-将来展望 |
| トレック・ジャパン(株) 上原 利夫 | |
| 14:45～15:25 | 大気圧マイクロ波プラズマの生成とその極微量元素分析への応用 |
| 東洋大学 工学部 電子情報工学科 岡本 幸雄 | |
| 15:25～15:40 | 休憩 |
| 15:40～16:20 | 高気圧マイクロ波プラズマと高輝度放電ランプへの応用 |
| 静岡大学 電子科学研究科 神藤 正士 | |
| 16:20～17:00 | VHFマイクロプラズマ源とその応用 |
| 東京大学大学院 工学系研究科 総合研究機構 一木 隆範 | |