研究会一覧
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第84回研究会 超大面積プラズマ源の現状と課題
平成20年1月17日(木) 株式会社アルバック茅ヶ崎本社工場
| プログラム | |
| 13:00-13:10 | 挨拶 |
| 学振153委員長 邦英 ULVAC 専務取締役 山川洋幸 |
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| 13:10-13:40 | 超高周波プラズマ源の課題 |
| 九州大学 河合良信 | |
| 13:40-14:10 | マイクロ波大面積放電によるプラズマ生成 |
| 中部大学 菅井秀郎 | |
| 14:10-14:40 | アレイアンテナ式プラズマCVD装置 |
| IHI 高木朋子 | |
| 14:40-14:55 | 休憩 |
| 14:55-15:25 | LCD用の大面積スパッタ成膜技術 |
| ULVAC 清田淳也 | |
| 15:25-15:55 | 大面積平行平板PECVD技術 |
| AKT西村靖紀 | |
| 15:55-16:25 | マルチ低インダクタンスアンテナを用いたメｰトル級大面積高周波誘導結合プラズマの開発と応用 |
| 大阪大学 節原裕一 | |
| 16:25-16:55 | 総合討論 |
| 全員 | |
| 17:00-18:00 | 見学会 |
| アルバック茅ヶ崎本社工場 | |
| 18:00-20:00 | 産学交流会 |
| アルバック茅ヶ崎本社工場501応接室 | |