研究会一覧
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第87回研究会
高密度媒体中の放電現象-材料分野への応用の現状と課題-(その1:大気圧)
平成20年6月30日(月)～7月1日(火) 三河湾国定公園/三谷温泉 ホテル明山荘
| プログラム | |
| 第一部(6/30) | |
| 15:55～16:00 | 委員長挨拶 |
| 16:00～16:50 | 第10回プラズマ材料科学賞(基礎部門)・受賞記念講演 ｢大気圧非熱平衡プラズマによる環境改善技術の開発-基礎過程から応用まで｣ |
| 東京大学大学院工学系研究科 小田 哲治 | |
| 16:50～16:55 | 休憩 |
| 16:55～17:40 | ｢常圧プラズマ技術の製造プロセスへの応用展開｣ (第10 回プラズマ材料科学賞(技術部門)受賞研究) |
| 積水化学工業(株)P2 事業推進部 湯浅 基和 | |
| 第二部(7/1) | |
| 09:00～09:45 | ｢大気圧グロｰ放電の成り立ちと応用展開｣ |
| 上智大学 小駒 益弘 | |
| 09:45～10:30 | ｢大気圧プラズマCVD 法による高品質Si系薄膜の形成｣ |
| 大阪大学 安武 潔 | |
| 10:30～10:45 | 休憩 |
| 10:45～11:30 | ｢大気圧マルチガスプラズマの環境応用と表面処理用大型プラズマ源の試作｣ |
| 東京工業大学 沖野 晃俊 | |
| 11:30～12:15 | ｢大気圧プラズマによる炭素系薄膜の大面積堆積｣ |
| 神奈川科学技術アカデミｰ 児玉 英之 | |