研究会一覧
MEETINGS
第95回研究会 高品質微結晶シリコン薄膜の成長と太陽電池
平成22年2月19日(金) 機械振興会館 本館 6階
| プログラム | |
| 12:55～13:00 | 委員長挨拶 |
| 13:00～14:40 | 半導体と太陽電池、プラズマからの薄膜シリコンの成長過程、課題 |
| 大阪大学大学院基礎工学研究科 松田 彰久 | |
| 14:40～15:20 | 薄膜シリコン系材料成長時のプロセス診断 |
| 名古屋大学大学院工学研究科 堀 勝 | |
| 15:20～15:35 | 休憩 |
| 15:35～16:15 | 微結晶シリコン高速成長時におけるプラズマ診断 |
| 産業技術総合研究所 太陽光発電研究センタｰ 布村 正太 | |
| 16:15～16:55 | 薄膜シリコン系太陽電池生産におけるプラズマプロセス技術の課題 |
| 富士電機アドバンストテクノロジｰ株式会社 市川 幸美 | |