研究会一覧
MEETINGS
第98回研究会
高速・高品質化を実現する先端プラズマ技術(シリコン薄膜形成)
平成22年9月10日(金) 弘済会館
| プログラム | |
| 13:00～13:05 | 委員長挨拶 |
| 13:05～13:50 | 高品質微結晶シリコンの高速製膜 ｰ 太陽電池への適用 ｰ |
| 大阪大学大学院基礎工学研究科 松田 彰久 | |
| 13:50～14:35 | ウエｰハ等価薄膜太陽電池の直接製造を可能とするメゾプラズマ次世代シｰメンス法開発 |
| 東京大学大学院工学系研究科 吉田 豊信 | |
| 14:35～15:20 | 大気圧プラズマを用いたSi薄膜形成 |
| 大阪大学大学院工学研究科 安武 潔 | |
| 15:20～15:35 | 休憩 |
| 15:35～16:20 | マイクロ波SiH4/H2プラズマCVDによる大面積シリコン堆積 |
| 名古屋大学大学院工学研究科 豊田 浩孝 | |
| 16:20～17:05 | 太陽電池用のプラズマCVD製膜技術と関連装置 |
| 株式会社アルバック 菊池 正志 | |