研究会一覧
MEETINGS
第99回研究会 非Si系デバイス材料の加工技術
平成22年11月19日(金) 鞆公民館
| プログラム | |
| 13:00～13:10 | 委員長挨拶,研究会趣旨 |
| 日本学術振興会第153委員会 委員長 高井 治 | |
| サムコ株式会社 代表取締役社長 辻 理 | |
| 13:10-13:55 | 窒化物半導体材料とプラズマ |
| 山口大学 大学院理工学研究科 只友一行,岡田成仁 | |
| 13:55-14:40 | ZnSeのプラズマ加工と回折型光学部品の開発 |
| 住友電気工業株式会社 エレクトロニクス・材料研究所 栗巣賢一 | |
| 14:40-15:25 | LEDサファイア基板のドライエッチング技術 |
| サムコ 株式会社 開発部 中野博彦,平本道広,辻 理 | |
| 15:25-15:40 | 休憩 |
| 15:40-16:25 | Cl2ガスを用いたInGaAlP の加工技術 |
| 株式会社 東芝 セミコンダクタｰ社 酒井隆行,鈴木健之 | |
| 16:25-17:10 | 磁性材料の加工技術 |
| NEC グリｰンイノベｰション研究所 木下 啓藏 | |