研究会一覧
MEETINGS
第108回研究会 ハイパワｰスパッタリング
平成25年02月04日(月) 弘済会館
| プログラム | |
| 13:00-13:05 | 委員長挨拶 |
| 日本学術振興会第153委員会 委員長 松田 彰久 | |
| 13:05-13:55 | 高密度プラズマスパッタ放電技術 |
| 大阪大学 節原 裕一 | |
| 13:55-14:45 | スパッタリングにおける高エネルギｰ粒子の発生とその抑制 |
| 名古屋大学 豊田 浩孝 | |
| 14:45-15:35 | ミニマルファブ用高速スパッタ装置の開発の現状 |
| 産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門 小木曽 久人 | |
| 15:35-15:50 | 休憩 |
| 15:50-16:40 | フラウンホｰファｰFEPの高速パルスマグネトロンスパッタリング技術 |
| サｰフテックトランスナショナル 鈴木 巧一 | |
| 16:40-17:30 | 今時プラズマアプリケｰション用ハイパワｰ電源の動向 TubeからSiCまで |
| 栗田製作所 西村 芳実 | |
| 17:30 | 閉会 |
| 17:40-19:00 | 産学交流会 |