研究会一覧
MEETINGS
第109回研究会 プラズマプロセスにおける生産性向上技術
11th APCPSTサテライトミｰティング
平成25年02月14日(木) TKPガｰデンシティ博多
| 主催: | (独)日本学術振興会 プラズマ材料科学第153委員会 |
| 共催: | 産総研コンソｰシアム｢計測・診断システム研究協議会｣プラズマ技術研究会 |
| 共催: | (公財)名古屋産業振興公社プラズマ技術産業応用センタｰ,プラズマが拓くものづくり研究会 |
| 協賛: | 応用物理学会九州支部 |
| プログラム | |
| 13:00-13:05 | 副委員長挨拶 |
| 日本学術振興会第153委員会 副委員長 長崎大学 藤山 寛 | |
| 13:05-14:05 | 窒素原子モニタリング技術とシリコンのプラズマ窒化現象の研究 |
| 東芝 栗原 一彰 | |
| 14:05-15:05 | Advanced Process Control / Virtual Managementによる生産性向上施策の提案 |
| ソニｰ 平井 都志也 | |
| 15:05-15:20 | 休憩 |
| 15:20-16:20 | 放電プラズマの基礎:主にグロｰ放電・アｰク放電の特性と応用 |
| 大分大学 金澤 誠司 | |
| 16:20-17:20 | パワｰデバイス作製プロセスの現状と課題 |
| 三菱電機 大森 達夫 | |
| 17:20 | 閉会 |
| 18:30-20:30 | 交流会(志ら石) |