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第126回研究会 プラズマ材料科学の最前線
2016年5月24日(火) 東京・弘済会館
| 開催日： | 2016年5月24日（火） |
| 会場： | 東京・弘済会館 |
| プログラム | |
| 13:00～13:05 | 委員長挨拶 |
| 学振153委員会委員長 堀 勝 | |
| 13:05〜13:50 | 「先端デバイス向けエッチング技術」 |
| 株式会社 東芝 メモリ技術研究開発センター 林久貴 | |
| 13:50-14:35 | 「島津製作所の高密度プラズマ源に対する取り組み（仮題）」 |
| 島津製作所 三科 健，上野 智子 | |
| 14:35-15:20 | 「非平衡気液界面プラズマにおけるプラズマ液体相互作用」 |
| 首都大学東京 栃久保 文嘉 | |
| 15:20-15:35 | 休憩 |
| 15:35-16:20 | 「大気圧レーストラック型ICPトーチと大面積アニールプロセスへの応用」 |
| パナソニック株式会社 奥村智洋 | |
| 16:20-17:05 | 「大気圧下でのプラズマ放電により生成された正極性および負極性のクラスターイオンの特性と応用展開」 |
| シャープ株式会社 西川 和男 | |
| 17:10 | 閉会 |
| 17:10～17:40 | 学振153委員会 総会 |
| 17:50～19:50 | 産学交流会 |