研究会一覧
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（定例研究会）
第140回研究会『パルスプラズマの最前線 ～パルス変調によるプロセス制御からナノ秒パルス応用まで～』
| 開催日： | 2019年4月26日(金) |
| 会 場： | パナソニックセンター東京 （東京都江東区有明3-5-1）３階 会議室４～６ |
| 趣 旨： | エッチングや材料合成，環境応用，医療・バイオ応用などの様々なプラズマプロセスにおいて，多様な時間スケールを有する「パルスプラズマ」が用いられている。本研究会では，プラズマ反応の時定数を制御するためのパルス変調プラズマと，ナノ秒からサブマイクロ秒の極短パルスプラズマに焦点を当てる。各々の技術についての概説と，最新応用事例を紹介いただける講師陣を招き，それぞれの技術の特徴・有用性について議論すると共に相互理解を深める |
| 申込み： | 申込みはこちら |
| プログラム | |
| 12:30～12:40 | 委員長挨拶 日本学術振興会第153委員会 委員長 白谷 正治 |
| 12:40～14:10 | 基礎講座「パルスパワー発生技術の概要とパルスプラズマの特徴」 熊本大学名誉教授 秋山 秀典 |
| 14:10～14:50 | （招待講演）「パルス変調プラズマの歴史と概要と課題」 名古屋大学 関根 誠 |
| 14:50～15:00 | （休憩） |
| 15:00～15:40 | （招待講演）「シンクロナイズドパルス変調による高アスペクト比エッチング」 東京エレクトロン宮城株式会社 大矢 欣伸 |
| 15:40～16:20 | （招待講演）「高機能成膜を実現させるアーク抑制型HiPIMS電源の開発」 東京電子株式会社 黒岩 雅英 |
| 16:20～17:00 | （招待講演）「パルス放電プラズマの特性と水処理への応用」 大分大学 金澤 誠司 |
| 17:00～17:15 | 総会 |
| 17:30～19:00 | 交流会 |