研究会一覧
MEETINGS
（定例研究会）
第161回研究会
『プラズマ千夜一夜物語：プラズマ材料科学分野の歴史と将来展望』
| 日 時： | 2023年1月27日（金）9：30～18：00 |
| 会 場： | TKPガーデンシティPREMIUM京橋 ホール22D（東京駅八重洲南口より徒歩5分） アクセス https://www.kashikaigishitsu.net/facilitys/gcp-kyobashi/access/ |
| 趣 旨： | 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会は第161回研究会をもって，この形での委員会の開催は最後を迎える．多くの方々が学界からも産業界からも委員になられ，プラズマの材料利用に向けた科学と技術の発展を願い，幅広くまた深甚な議論が続けられてきた． 委員会設立時からの話題でもあり話題の尽きない三つの議題，１．ダイアモンドをはじめとするカーボン系の製膜，２．太陽電池利用を見据えてはじまり拡がりを見せてきたシリコン系材料の合成，３．集積回路製造を支えるハロゲン系反応性プラズマによるエッチングについて取り上げ，これまでのプラズマ材料科学の歴史を踏まえて，現状の到達点と残る検討課題を，その分野を牽引する方に講演をお願いしたい． |
| 開催通知PDF： | こちら (要ID、パスワード) |
| プログラム(敬称略) | |
| 9:30 | 総会 |
| 9:40 | 委員長挨拶 日本学術振興会第153委員会委員長 渡辺隆行（九州大） |
| 9:45 | 趣旨説明 プラズマ千夜一夜物語とは 石川健治（名古屋大） |
| 第Ⅰ冊．プラズマをもちいたカーボン製膜研究の到達点・課題・展望 | |
| 10:00 | （招待講演）「ダイヤモンドFET研究とプラズマプロセス」 川原田洋（早稲田大） |
| 10:30 | （招待講演）「プラズマを用いたカーボン成膜研究の推移」 八田章光（高知工科大） |
| 第Ⅱ冊．プラズマをもちいたシリコン材料研究の到達点・課題・展望 | |
| 11:00 | （招待講演）「μクリスタルシリコン、ナノシリコンの研究の推移と展望」 白谷正治（九州大） |
| 11:30 | （招待講演）「シリコンプラズマプロセスの未来」 神原淳（大阪大） |
| 12:00 | 事務連絡＆昼食 |
| 13:00 | 第24回プラズマ材料科学賞授賞式 司会 伊藤昌文（名城大） |
| 第Ⅲ冊．プラズマをもちいた材料エッチング研究の到達点・課題・展望 | |
| 13:30 | （招待講演）「半導体エッチング技術研究の推移と展望」 関根誠（名古屋大） |
| 14:00 | （招待講演）「最新半導体プラズマエッチングプロセスの未来」 宮副裕之（IBM T.J.Watson Research Center） |
| （休憩） | |
| 第Ⅳ冊．プラズマ材料科学の現状と未来 | |
| 15:00 | 総合討論「クオ=バディス* ～プラズマ材料科学研究の50年～」 パネリスト（順不同）：田中学（九州大），碇山理究（Kioxia），稲田 優貴（埼玉大），大島多美子（佐世保高専），伊藤剛仁（東京大），加藤俊顕（東北大），川口悟（室蘭工大），高橋和貴（東北大），古免久弥（大阪大），伊藤智子（大阪大），稗田純子（名古屋大），古賀麻由子（兵庫県立大） |